應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng)，也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源
　　單頻射頻電源、雙頻射頻電源、直流電源、C靜電卡盤電源、自動(dòng)調(diào)諧匹配網(wǎng)絡(luò)。
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