基礎技術參數：
?。吞枺篎UNION 564
?。谐蹋篨軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
?。Y構型式：活動橋式
?。獋鲃臃绞剑褐绷魉欧到y＋預載荷高空氣軸承
?。L度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
＊機臺：高（00級）花崗巖平臺
?。褂铆h境：溫度（20&plun;2）℃，濕度55％-65％，溫度梯度1℃／m，溫度變化1℃／h
?。諝鈮毫Γ?.4MPa-0.5Mpa
?。諝饬髁浚?20L／min–140L／min
?。麢C尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
＊機臺承重：500kg
?。麢C重量：850Kg
?。臻g測量：（2.80＋L／300）μm
?。吞枺篎UNION 564
?。谐蹋篨軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
?。Y構型式：活動橋式
?。獋鲃臃绞剑褐绷魉欧到y＋預載荷高空氣軸承
?。L度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
＊機臺：高（00級）花崗巖平臺
?。褂铆h境：溫度（20&plun;2）℃，濕度55％-65％，溫度梯度1℃／m，溫度變化1℃／h
?。諝鈮毫Γ?.4MPa-0.5Mpa
?。諝饬髁浚?20L／min–140L／min
?。麢C尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
＊機臺承重：500kg
?。麢C重量：850Kg
?。臻g測量：（2.80＋L／300）μm
