橋架固定，工作臺移動的固定橋式結構，為整機提供了更穩定的基礎，并運行時，振動對的影響小
陶瓷Z軸、全花崗巖結構，為計量室環境下的測量提供了穩定的高
中心驅動系統減少偏擺和扭轉，Y向光柵安裝于工作臺的，阿貝誤差小
Y向采用燕尾導軌結構，了機器的和重復性柔性同步帶系統，兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動的優點，高加速度時定位，從而運動的平穩性
Z向采用可調式氣動平衡設計，了機器的動態性能，Z軸性
標配溫度傳感器，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
采用HEIDENHAIN高分辨率金質光柵，其熱膨脹系數獲得PTB。
陶瓷Z軸、全花崗巖結構，為計量室環境下的測量提供了穩定的高
中心驅動系統減少偏擺和扭轉，Y向光柵安裝于工作臺的，阿貝誤差小
Y向采用燕尾導軌結構，了機器的和重復性柔性同步帶系統，兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動的優點，高加速度時定位，從而運動的平穩性
Z向采用可調式氣動平衡設計，了機器的動態性能，Z軸性
標配溫度傳感器，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
采用HEIDENHAIN高分辨率金質光柵，其熱膨脹系數獲得PTB。
