此款全自動(dòng)清洗機(jī)適用于晶圓、QFN、玻璃和陶瓷切割后的清洗設(shè)備，有高壓水和二流體兩種清洗方案。采用人性化的全彩色觸摸屏作為操作界面，令整機(jī)更為易用。該機(jī)型提供高壓水和二流體兩種清洗方案供分開(kāi)或組合選擇。適用于藍(lán)膜、UV 膜、PET 襯底膜和雙層膜。適用晶圓尺寸：3～12 Inch
技術(shù)特點(diǎn)：
■除提供傳統(tǒng)高壓水的清洗方案外，還提供采用二流體的清洗方案，在清洗效果的同時(shí)也減少了對(duì)芯片的損害?？蛇x擇機(jī)器采用高壓水或二流體的清洗方式，也可以選擇雙擺臂的組合方式。
■采用了應(yīng)用于航天工程的磁流體密封技術(shù)的主軸，真空吸附的真空度，工作件不會(huì)因真空泄漏而脫離旋轉(zhuǎn)臺(tái)盤，從而損壞工作件，因此也了主軸的壽命，令主軸更，更。
■配備5.7英寸全彩色觸摸屏，人性化的觸摸屏界面，集成了的參數(shù)設(shè)計(jì)和功能操作；并提供信息和錯(cuò)誤顯示，讓操作和信息一目了然。
技術(shù)特點(diǎn)：
■除提供傳統(tǒng)高壓水的清洗方案外，還提供采用二流體的清洗方案，在清洗效果的同時(shí)也減少了對(duì)芯片的損害?？蛇x擇機(jī)器采用高壓水或二流體的清洗方式，也可以選擇雙擺臂的組合方式。
■采用了應(yīng)用于航天工程的磁流體密封技術(shù)的主軸，真空吸附的真空度，工作件不會(huì)因真空泄漏而脫離旋轉(zhuǎn)臺(tái)盤，從而損壞工作件，因此也了主軸的壽命，令主軸更，更。
■配備5.7英寸全彩色觸摸屏，人性化的觸摸屏界面，集成了的參數(shù)設(shè)計(jì)和功能操作；并提供信息和錯(cuò)誤顯示，讓操作和信息一目了然。
