NanoScan光束質量分析儀在保持BeamScan易用性和靈的基礎上了產品的主要性能，對紫外到遠紅外光譜范圍內的連續光和脈沖光均可進行測試，探測功率可達千瓦級。
NanoScan光束分析儀基于PCI結構的數字控制器可以提供12比特的數字信號，可以提供35dB的光學動態范圍。它把光束測量的和穩定性了幾個數量級，現在光束尺寸和光束瞄準的測量誤差達幾百個納米已成為可能。
NanoScan的掃描速度軟件可控，采用峰值關聯算法可對連續光和KHz以上的脈沖光束進行測量，軟件可對1-16個光束進行亞微米的分析準，而且具有ActiveX自動控制功能，便于把NanoScan OEM到其它系統中。
NanoScan系統有硅、鍺以及熱釋電探測器可供選擇，光譜響應范圍從紫外到100µm以上的遠紅外。其中，NanoScan光束質量分析儀的硅和鍺探測器系統標配200mW的功率計功能，測量1.5％。
NanoScan光束分析儀基于PCI結構的數字控制器可以提供12比特的數字信號，可以提供35dB的光學動態范圍。它把光束測量的和穩定性了幾個數量級，現在光束尺寸和光束瞄準的測量誤差達幾百個納米已成為可能。
NanoScan的掃描速度軟件可控，采用峰值關聯算法可對連續光和KHz以上的脈沖光束進行測量，軟件可對1-16個光束進行亞微米的分析準，而且具有ActiveX自動控制功能，便于把NanoScan OEM到其它系統中。
NanoScan系統有硅、鍺以及熱釋電探測器可供選擇，光譜響應范圍從紫外到100µm以上的遠紅外。其中，NanoScan光束質量分析儀的硅和鍺探測器系統標配200mW的功率計功能，測量1.5％。
