微機電氣體質量流量計
　　工作原理
　　微機電系統（MEMS）芯片傳感技術，是在硅芯片上集成了具械和電子特性的傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現代材料制作技術與大規模集成電路技術相結合獲得新的機電特性。微機電系統芯片可實現某些宏觀機電器件所不能的功效。
　　MF系列質量流量計采用了本公司生產的熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量傳感方式的流量計，它是通過氣體流動產生的熱場變化來測量氣體流量的。由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質量流量。
　　不同于傳統的“熱絲”方式采用了多個熱傳感器及熱源來測量氣體的質量流量（風速式熱質量流量原理），微機電系統芯片熱質量流量傳感器采用了多個熱傳感器和一個微熱源（量熱式熱質量流量原理），大大減少了環境對測量的影響。微機電系統芯片熱質量流量傳感器的熱源十分微小，采用式在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環境無影響，不會像傳統的熱絲式質量流量計那樣造成氣體的對流。因而，微機電系統芯片熱質量流量傳感器具有優良的點穩定性和短的響應時間。
　　本流量計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉換模塊、EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。
　　
　　技術指標
　　范圍度＞100：1
　　&plun;（1.0＋0.15FS）%；&plun;（1.5＋0.15FS）%
　　重復性&plun;0.5%&plun;0.75%
　　工作壓力＜2.5MPa 2.5〜4.0 MPa為定制產品
　　環境溫度-10-55℃
　　介質溫度-20-60℃
　　濕度＜95%RH
　　LCD顯示總量（Nm3），流量（Nm3/h）
　　供電方式 8-24VCD；110/220VAC（適配器供選）
　　校準條件空氣、20℃；101.325KPa；可根據用戶要求進行實際介質標定
　　材料/機械連接不銹鋼；法蘭/NPT/BSPT
　　數據存儲可自動存儲數據
　　輸出（選項）RS485；4-20mA；脈沖
　　用戶控制（選項）用戶界面軟件
　　護等級 IP65
　　爆等級 Ex ia IIC T4