三維探針臺是海格威自動化設備有限公司自主生產的微型壓電線性馬達驅動的三維探針臺，該探針臺具有結構緊湊、高、多功能、響應及比的特點，是實驗室及生產檢測設備的選擇。該探針臺采用了模塊化設計的理念，可以十分方便地組合成各種探針檢測設備，旨在滿足各種諸如單切晶片、4''以下晶圓、LED 芯片、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。該三維探針臺配備專門的3軸霍爾控制元件，可在觀測的時候同時進行靈活和精準的操作。同時具備十分優(yōu)良的可擴展性，可根據需要選配各種不同部件進行功能上的升級。
　　應用領域：
　　晶圓測試、射頻測試、LED 測試、高溫環(huán)境測試、功率器件測試、低溫真空測試、MEMS 測試、低電流（fA）測試、PCB 測試、I-V/c-V/p-IV 測試、液晶面板測試、高壓，大電流測試、太陽能電池片測試、氣體環(huán)境測試、材料表面電阻測試、強磁環(huán)境測試、納米器件測試、輻射環(huán)境測試
　　可選配件：
　　1、光柵閉環(huán)系統(tǒng)
　　2、不同規(guī)格探針
　　3、壓電精密 XY 軸樣品載物臺或手動XY 樣品載物臺
　　4、不同規(guī)格顯微觀察系統(tǒng)及顯微鏡萬向連接裝置
　　5、可定制不同規(guī)格尺寸安裝底座及連接底板
　　6、真空吸附型卡盤（不銹鋼、黃銅材質可選）
　　7、積分球夾具
　　8、視頻 CCD 系統(tǒng)
　　9、封裝器件夾具
　　10、PCB 板夾具
　　11、樣品加熱系統(tǒng)
　　12、光學隔振平臺
　　13、屏蔽箱
　　14、強磁場及高真空度使用請直接咨詢廠商以獲得更加詳細的信息