特點:隔振支撐采用復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術,隔振性能良好。自動水平,自動充氣,氣動執行元件采用德國FT0產品,空氣壓縮機氣源、噪聲低。
應用范圍:適用于對振動要求高的場所。如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松調節,結構穩定。
技術參數:
平臺表面粗糙度0.5~0.6 um
平面度0.02~0.05 mm/m2
固有頻率1.5~2 Hz
振幅小于1 um
重復定位±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
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