產(chǎn)品介紹
白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準(zhǔn)確測量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測量系統(tǒng),，為韓國SAMSUNG指定供應(yīng)商，LPL友好俱樂部成員，清華大學(xué)，臺(tái)灣大學(xué)，爾大學(xué)友好合作伙伴。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測量需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、震、壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
1、TFT產(chǎn)業(yè)
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高?？蒲?BR>5、精密加工 附件 水準(zhǔn)測量器、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測量需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、震、壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
技術(shù)參數(shù)
| 機(jī)型 | SIS 2000 | |
| 工作臺(tái) | 尺寸 | 350mm×350mm |
| 傾斜度 | ±3 ° | |
| 測量行程 | X:200mm Y:200mm | |
| Z軸行程 | 100mm | |
| 運(yùn)動(dòng)方式 | 自動(dòng)，馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |
| 掃描速度 | 30μm/sec | |
| 垂直分辨率 | 0.1nm | |
| CCD | 黑白CCD， 640×480 像素 | |
| 物鏡安裝架 | 手動(dòng) 5個(gè)位移的可定位夾具 | |
| 鏡頭選配 | 鏡頭：5×、10×、20×、50× | |
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高?？蒲?BR>5、精密加工 附件 水準(zhǔn)測量器、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等