主要性能
堅固耐用的機械設計
- X 和 Z 軸均采用工業陶瓷作為導軌材料，具有良好的剛性，并溫度波動及濕度和其他環境條件的影響
- 適合車間的玻璃陶瓷光柵尺受粉塵和其他雜質的影響小
- 三軸均采用四面環抱氣浮軸承，可在運行和加速的條件下保持剛性和穩定性
機器技術
的控制技術
- 的計算機輔助誤差技術(CAA)，用于計算機輔助動態修正，測量結果準確
- C99控制柜，來自卡爾·蔡司的控制技術，實現機器與探頭的匹配
- 模塊化設計維保便捷并滿足未來升級需求
- 用戶友好型標準控制面板，更方便、地控制軸向運動；無級變速旋鈕，調整測量速度
