產(chǎn)品介紹:
MWR-2S-3I是一款功能異常強大的無接觸少子壽命及紅外探傷綜合測試儀，能夠?qū)尉Ч璋簟⒍嗑Ч鑹K及硅片提供快速、無接觸、傷、高分辨率的多功能掃描測試。一方面，其通過微波光電衰退特性原理來測量非平衡載流子壽命的；另一方面，通過近紅外對硅材料的光學(xué)特性，探測缺陷。并且單晶硅棒、多晶硅塊無須進行處理。此設(shè)備是太陽能電池硅片企業(yè)、多晶鑄錠企業(yè)、拉晶企業(yè)得的測量儀器。

產(chǎn)品特點

■ 系統(tǒng)大，少子壽命及缺陷同時測量

■ 無接觸和傷測量

■ 自動測量，具有傳送系統(tǒng)，可進行連續(xù)測量

■ 快速測量，測試掃描速度2000mm/min

■ 測試范圍廣：包括硅塊、硅棒、硅片等

■ 應(yīng)用于硅棒硅塊、硅片的進廠、出廠檢查，生產(chǎn)工藝過程中屬沾污和缺陷的監(jiān)控等

■ ，地降低了企業(yè)的測試成本

■ 可以在線實時對產(chǎn)品監(jiān)控

推薦工作條件

■ 溫度：18-26℃
■ 濕度：10%~80%
■ 大氣壓：750±30毫米汞柱

技術(shù)指標(biāo)

■ 主機尺寸：63cm * 36cm *59cm

■ 測試尺寸:190mm*190mm*500mm

■ 測試掃描速度:2000mm/min

■ 電阻率范圍：>0.5Ω.cm

■ 硅棒硅塊掃描間距：≥1mm

■ 儀器測試：±3.5％，信號處理偏差≤2％

■ 少子壽命測試范圍:0.1μs-30ms

■ 少子檢測激光波長：975nm,測試功率范圍：50-500mw

■ 紅外波長：2300nm,測試功率范圍：50mw

■ 紅外探傷可分辨小尺寸：0.1mm

■ 微波工作頻率：10GHz±0.5

■ 微波測試單元功率：0.01W±10%

■ 電源：～220V  50Hz    功耗＜160W

■ 主機重量：32KG

典型客戶

德國，瑞士，美國，日本，俄羅斯及國內(nèi)河北，江西，江蘇，浙江，廣西，上海，遼寧等地拉晶鑄錠客戶。