MKS 345皮拉尼系列是一個穩健的,的,快速和穩定的壓力測量真空計,345系列熱傳導型的皮拉尼通過測量在加熱燈絲上的熱損失來測量壓力,的溫度補償電路提供了更好的測量的穩定性。
真空計是工廠校驗的,所以當替換真空計時無需進行重新校驗,白金的燈絲了和一系列制程氣體的兼容性,只有真空的材料才暴露于真空中,比熱偶規更的皮拉尼規,可以測量更廣的壓力范圍和應對于壓力變化更快的響應速度。
像熱傳導的真空計,345皮拉尼是對氣體敏感的,這個特點可以在固定氣體類型的情況下容易的在真空腔體中找到泄露,它補充了質譜測漏儀的功能,可以更地尋找更小的泄漏。 345 皮拉尼是一個9 針的D型連接方式,屏蔽型的,合CE標志。
應 用:
MKS 945單通道控制器和345皮拉尼是理想的用于的低真空和中真空的測量,包括機械泵的本底測量或系統工藝的啟動。
MKS 945 單通道控制器和345 皮拉尼可用于許多工業領域如半導體,Loadlock,測漏,真空鍍膜和凍干設備等,真空兼容的材料應用于傳感器中和可烘烤的能力使其可應用于物理應用如加速器和激光核聚變項目中。









