234/302 200mm焦距真空紫外光譜儀
主要特點(diǎn)：
>像差校正光學(xué)系統(tǒng)
>紫外光譜CCD或MCP陣列探測器
>真空支持
>緊湊、堅固、低重量、格
主要技術(shù)參數(shù) | |
波長范圍 | <30nm-550nm* |
光學(xué)結(jié)構(gòu) | Seya-Namioka |
真空度支持 | 10-6Torr，或10-10Torr（UHV選項） |
焦距長度 | 200mm |
分辨率，半高寬 | 0.1nm* |
色散 | 4nm每毫米 |
校準(zhǔn) | 0.1nm |
重復(fù)性 | 0.05nm |
步距 | 0.00005nm |
焦平面尺寸 | 25mm |
數(shù)值孔徑 | f/4.5 |
光柵尺寸 | 40*45mm凹面全息光柵 |
雜抑制比 | 10-5 |
充氮?dú)?/span> | 可選 |
可選探測器 | CCD、MCP或單點(diǎn)探測器 |
狹縫 | 10um-3mm連續(xù)可調(diào)，高度2-20mm可調(diào)，手動或電動可選 |
*以上參數(shù)均為1200g/mm光柵參數(shù)
不同光柵主要參數(shù) | ||||
光柵密度（g/mm） | 2400 | 1200 | 600 | 300 |
分辨率** | 0.05 | 0.1 | 0.2 | 0.4 |
色散（nm/mm） | 2 | 4 | 8 | 16 |
波長范圍 | 30-225nm | 30-550nm | 30-1100nm | 30nm-2.2um |
**分辨率測試條件：10um狹縫@184.9nm
