1.             光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；

2.             掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，干擾能力強(qiáng)；

3.             精密激光檢測(cè)及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單，操作方便；

4.             采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5.             伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域定位；

6.             高大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7.             高大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同和掃描范圍要求選擇；

8.             自由變倍的CCD觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針掃描樣品區(qū)域；

9.             采用伺服馬達(dá)控制CCD對(duì)焦和光學(xué)放大；

10.      模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；

11.    集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。

1.             多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；

2.             多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測(cè)量功能；

3.             可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；

4.             可任意選擇樣品起始掃描角度；

5.             激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；

6.             針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能；

7.             可任意定義掃描圖像的色板功能；

8.             支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；

9.             支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；

三、主要技術(shù)參數(shù)

名  稱

參  數(shù)

名  稱

參  數(shù)