瑞士Eulitha紫外光刻機,新一代紫外光刻系統_制樣/消解設備

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北京匯德信科技有限公司

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微納制造與加工技術: 高分辨紫外/深紫外光刻機; 納米激光直寫光刻系統; CERES微納金屬3D打印系統; 微波等離子去膠機; 極紫外光源與光柵; 精密操縱與測量儀器

真空和薄膜生長技術: 激光分子束外延系統; 脈沖激光沉積系統

材料檢測及測量技術: 寬頻介電阻抗譜儀; 楊氏模量無損測量系統; 掃描式激光分析儀; 三維表面形貌儀; 原子力顯微鏡

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企業類型：貿易商
新舊程度：全新
原產地：瑞士

PhableR 100 紫外光刻機是一套低成本的光學曝光系統，但卻能獲得高分辨率的周期性結構。同傳統的紫外曝光機類似，涂覆了光刻膠的晶片以接近方式放置在掩膜版下面，被紫外光束照射。由于Eulitha公司擁有突破性的PHABLE曝光技術，在"PHABLE"模式下，分辨率不再受到衍射的限制，從而曝光出亞微米的線性光柵和二維光柵（六角形和正方形），且曝光結果非常均勻，質量很好；在"mask aligner"模式下，能非常輕松地獲得微米尺寸的圖形。

特點：