參數(shù)

型號(hào)SURFCOM 130A

測(cè)量范圍

X 軸（橫向） 50 mm

Z 軸（縱向） 800μm（量程/分辨率：800μm/0.012μm、80μm/0.001μm、8μm/0.0001μm）

直線度：0.3 μm/50 mm

分析項(xiàng)目

對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CMO標(biāo)準(zhǔn)

參數(shù)：Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R Δa, RΔq, Rλa, Rλq, TILT A, Ir, Pt, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk,

      Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc, H, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, , SR, SAR

評(píng)價(jià)曲線：斷面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動(dòng)圓波紋度曲線、滾動(dòng)圓中心線波紋度曲線、

          DIN4776曲線、粗糙度Motif曲線、波紋度Motif曲線、包絡(luò)波紋度曲線

          特性曲線負(fù)荷曲線、振幅分布曲線、功率曲線圖

傾斜補(bǔ)償方法:直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、

             樣條補(bǔ)償（直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償及兩端補(bǔ)償可在任意范圍進(jìn)行補(bǔ)償）

倍率

縱向倍率（Z 軸） 50 、100 、200 、500 、1 k、2 k 、5 k 、10 k、20 k 、50 k 、100 k 自動(dòng)

橫向倍率（X 軸） 1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 自動(dòng)

濾波器種類:標(biāo)準(zhǔn)型濾波器（2RC）、相位補(bǔ)償型濾波器（2RC）、相位補(bǔ)償濾波器（高斯）

測(cè)量速度: 0.15、0.3 、0.6 、1.5 、3 mm/s（ 5速）

傳感器針尖半徑：2μm，材質(zhì)：金剛石，測(cè)量力：0.75mN

卓越的功能

AI 功能搭載新手也易于理解的AI功能

段差分析功能適合半導(dǎo)體部件的膜厚及面積測(cè)量

PC 卡可輸出文本文件并將數(shù)據(jù)提供給計(jì)算機(jī)。

標(biāo)準(zhǔn)附件標(biāo)準(zhǔn)片（E-MC-S2）、記錄紙（E-CH-S21A）、手寫筆（E-MA-S54A）、使用說明書、支持軟件

電源AC100 V?240 V ±10 %

設(shè)置尺寸（W×D×H) 700 mm×300 mm×150 mm

質(zhì)量8 kg