| 大功率半自動(dòng)探針臺(tái) | ||||
| 型號(hào) | SHCV-6-Auto | SHCV-8-Auto | SHCV-12-Auto | |
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | |
| 重量 | 180KG | 250KG | 380KG | |
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ | |||
| Chuck | 尺寸 | 6inch | 8inch | 12inch |
| X-Y軸行程 | 6*6inch | 8*8inch | 12*12inch | |
| X-Y軸移動(dòng)解析度 | 0.04um/0.1um | |||
| X-Y軸重復(fù)定位 | ±1um | |||
| 移動(dòng)速度 | ≥ 50 mm/sec | |||
| Z軸行程 | 10mm | |||
| Z軸移動(dòng)解析度 | 0.1um | |||
| Z軸重復(fù)定位 | ±1um | |||
| Theta角度行程 | ±15° | |||
| Theta角度解析度 | 0.0003° | |||
| 光柵尺 | 帶光柵尺 | |||
| 樣品固定方式 | 多孔真空吸附，分區(qū)控制 | |||
| 切換樣品功能 | 樣品臺(tái)快速拉出 | |||
| 結(jié)構(gòu) | 同軸高壓設(shè)計(jì)，鍍金，電學(xué)懸空，可作為背電使用 | |||
| 針座平臺(tái) | 規(guī)格 | O型平臺(tái)，多可放置8個(gè)針座 | O型平臺(tái)，多可放置10個(gè)針座 | O型平臺(tái)，多可放置12個(gè)針座 |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺(tái)可以快速升降，行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降1um | |||
| 控制方式 | 手動(dòng)控制盒（可選擇帶操縱桿） | |||
| 軟件控制 | ||||
| 軟件功能 | wafer map的編輯 | |||
| 儀器的接入 | ||||
| 數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示 | ||||
| 數(shù)據(jù)的分析 | ||||
| 差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark | ||||
| 自定義Bin分 | ||||
| 自動(dòng)測(cè)試 | ||||
| 通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||||
| 大功率規(guī)格 | 配置 | 大功率kelvin樣品臺(tái) | ||
| 大功率夾具線纜 | ||||
| mult-pin 分流探針 | ||||
| 大功率保護(hù)模塊（針座用） | ||||
| 保護(hù)紅外光幕，人員誤進(jìn)入工作區(qū)，觸發(fā)時(shí)interlock互鎖 | ||||
| 大功率儀器連接模塊 | ||||
| 測(cè)試電壓 | 10KV | |||
| 測(cè)試電流 | 500A（脈沖） | |||
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 2*2inch | ||
| 顯微鏡行程 | 1um | |||
| 放大倍數(shù) | 20-4000X | |||
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||
| 點(diǎn)針規(guī)格 | 點(diǎn)針 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
| X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 漏電 | 10pA/100fA | |||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口 | |||
| 溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
| 溫控 | 溫度分辨率 ： 0.01°C | |||
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |||
| 控溫速率 | ±0.1°C /小時(shí) | |||
| 傳感器 | Pt100 | |||
| 制冷方式 | 液氮制冷 | |||
| 減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) | |||
| 可選附件 | chuck快速拉出裝置 | |||
| 顯微鏡傾仰裝置 | ||||
| 激光 | ||||
| 探針卡夾具 | ||||
| 光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 | ||||
| 加熱臺(tái) | ||||
| 高低溫樣品臺(tái)（-80~200℃） | ||||
| 震桌 | ||||
| 射頻測(cè)試 | ||||
| PCB板夾具 | ||||
| 液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝 | ||||
| 屏蔽箱 | ||||
| 卡盤鍍金 | ||||
| 運(yùn)用方向 | 晶圓測(cè)試，功率器件測(cè)試 | |||
| 特點(diǎn)： | ||||
| SiC/GaN晶圓測(cè)試 | 的測(cè)試 | |||
| 大功率晶圓測(cè)試 | 便捷的儀器接入 | |||
| （-60~200℃）高低溫Chuck | 半自動(dòng)測(cè)試 | |||
| 20~4000X光學(xué)顯微放大 | 可升級(jí)全自動(dòng)測(cè)試 | |||
| 功能豐富的測(cè)試軟件 | 可升級(jí)射頻測(cè)試 |
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