MT-30A系列儀表式配氣儀概要                                
 
MT-30A系列采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量測量及控制。
可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
MT-30A系列儀表式配氣儀特點                                
 
o 模擬式熱質(zhì)式流量計/流量控制器：
- 低單價
- 環(huán)境溫度補正
- 可應(yīng)用的流率范圍廣：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±2%(＞15SLM.)
o 可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
o 國際兼容
 
MT-30A系列儀表式配氣儀應(yīng)用                                
 
o 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測/控制。
o 氣體分析設(shè)備。
o 固定氣體流量控制。
o 氣體混合或分離設(shè)備
 
MT-30A系列儀表式配氣儀標準                                氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標定。
標準狀態(tài)規(guī)定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
 流量范圍是以mL/min，L/min 為單位
 例：
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
 50 L/min(nor) 表示為50L

MT-30A系列儀表式配氣儀規(guī)格 (熱式)