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        AFM探針基本都是由MEMS技術(shù)加工 Si 或者 Si3N4來制備. 探針針尖半徑一般為10到幾十 nm。微懸臂通常由一個(gè)一般100~500μm長和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微懸臂大約100μm長、10μm寬、數(shù)微米厚。

利用探針與樣品之間各種不同的相互作用的力而開發(fā)了各種不同應(yīng)用域的顯微鏡，如AFM(范德華力)，靜電力顯微鏡EFM(靜電力)磁力顯微鏡MFM(靜磁力)側(cè)向力顯微鏡LFM(探針側(cè)向偏轉(zhuǎn)力)等， 因此有對(duì)應(yīng)不同種類顯微鏡的相應(yīng)探針。

原子力顯微鏡的探針主要有以下幾種:

(1)、 非接觸/輕敲模式針尖以及接觸模式探針:常用的產(chǎn)品，分辨率高，使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損，分辨率很容易下降。主要應(yīng)用與表面形貌觀察。

(2)、 導(dǎo)電探針:通過對(duì)普通探針鍍20-40納米厚的Pt(以及別的提高鍍層結(jié)合力的金屬，如Au、Cr、Ti和Pt與Ir的合金等)得到。導(dǎo)電探針應(yīng)用于EFM，KFM，SCM等。導(dǎo)電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差，使用時(shí)導(dǎo)電鍍層容易脫落，導(dǎo)電性難以長期保持。導(dǎo)電針尖的新產(chǎn)品有碳納米管針尖，金剛石鍍層針尖，全金剛石針尖，全金屬絲針尖，這些新技術(shù)克服了普通導(dǎo)電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點(diǎn)。

(3)、磁性探針:應(yīng)用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備，分辨率比普通探針差，使用時(shí)導(dǎo)電鍍層容易脫落。

(4)、大長徑比探針:大長徑比針尖是為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計(jì)生產(chǎn)的。特點(diǎn):不太常用的產(chǎn)品，分辨率很高，使用壽命一般。技術(shù)參數(shù):針尖高度> 9μm;長徑比5:1;針尖半徑< 10 nm。

(5)、類金剛石碳AFM探針/全金剛石探針:一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜，另外一種是全金剛石材料制備(價(jià)格很高)。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性，減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命。

還有生物探針(分子功能化)，力調(diào)制探針，壓痕儀探針

        Park四面體探針測微懸臂的特點(diǎn)，在于探針位于測微懸臂的Z端，由此易于清楚確認(rèn)探針與樣品的位置關(guān)系，從而迅速而準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)測定位置。為滿足客戶多種特殊需求，此產(chǎn)品備有標(biāo)準(zhǔn)型、鉑膜型和四面刃型三種類型的硅探針可供選擇。
 

        OMCL-AC240TS 10M
        微軟型(Medium-soft Silicon Cantilever)
        適用于測量易受損(Soft)的樣品
        在輕敲模式中擁有Z微小的彈性系數(shù)2 N/m的硅懸臂,適合用來觀測局部解剖的表面與柔軟樣品的黏彈性;

        Medium-soft Silicon Cantilever

        Spring constant of 2 N/m (norminal) is smallest of silicon cantilevers, suitable for observing surface ography ａnd viscoelasticity of soft samples.(2n/m,70khz)

        AFM的測量模式：

※接觸式(Contact mode)：

  探針與材料表面間的距離為(2~3nm)。在掃描時(shí)，針尖與樣品表面輕輕接觸，產(chǎn)品微弱的排斥力使探針偏移，從而使得樣品表面形貌的圖像。

※非接觸式(Non-contact mode)：

  探針與材料表面總維持著一定的距離(低于20nm)。非接觸式為輕敲式的衍生，一樣是利用探針跳動(dòng)來掃描，但是探針始終都不接觸表面。  

※輕敲式(Tapping mode又稱 AC mode)：

  介于接觸式和非接觸式之間，探針與材料表面間的距離為(5nm)。以探針震蕩方式，探針在試片上跳動(dòng)，當(dāng)探針震蕩至波谷時(shí)微接觸樣品。

        Park探針選用小貼士：

        AC160TS:Tapping Mode,用於較硬的sample,適用半導(dǎo)體材料,金屬材料,Polymer,DVD…

        AC240TS:Tapping Mode,用於較軟的sample,適用生命科學(xué):DNA,細(xì)胞,薄膜,蛋白質(zhì)…