用途：

(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標準樣品

(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質量的個重要工具

(3)可直接用于同一量級物體長度的比對測量

(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調整功能的檢驗也有較好的作用

(5)利用標樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗

標準樣品的形狀、規格和包裝：

S1000微米一亞微米級系列標樣，總體為5mm×5mm0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個“回”字形的方框，最外框邊長約為2mm,內框的邊長約為12mm,內框里面用X、Y軸分為4個象限，X、Y軸上制作有垂直坐標軸方向的線距20um的短平行線條，4個象限上分別是線距為40um、20um10um的方格網狀圖形和線距為5um的X、Y雙向平行線條圖形，內框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長約為160m,小框邊長約50um,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5um的平行線條，小框里面是線距為1um或05um的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5m和1um或05um的線距結構上還有一些十字形和圓點，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準，而把40um、20μm和10um的線距結構設計成方格形，是為了在對放大倍率進行準確校準的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校驗，5μm的線距結構也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍的準而不必機械旋轉標準器。

標準樣品的穩定性：

標準樣品基質材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質穩定。在對標準樣品進行觀察時，可看到標準樣品具有良好的導電性，并且在掃描電鏡下所產生的圖形具有很好的對比度，在掃描電鏡下或光學顯微鏡下進行多次長時間的觀察后，未見標準樣品圖形或線距結構發生變形或其他損壞，即標準樣品在電子束重復照射下是穩定的。