1、光學(xué)系統(tǒng)

　　1.1類型：Czerny-Turner型單色器,焦距0.75m,全紫外波段采用氮?dú)獯祾?具有直接峰值測量功能.全恒溫光室保證優(yōu)異的長時間穩(wěn)定性.

　　1.2  *波長范圍：對1800線/mm全息光柵(標(biāo)配),160-800nm;

　　     對2400線/mm全息光柵(選配),160-640nm.

　　1.2  *典型分辨率：

　　Grating            Order        Wavelength(nm)        Resolution(nm)

　　1800g/mm         4               160-200                    0.006

　　(std.)                   3               160-267                    0.007

　　                           2               160-400                    0.009

　　                           1               400-800                    0.018

　　1.4光學(xué)檢測器：雙光電倍增器:R166UH(紫外區(qū)寬波段日光免疫型)R446(可見區(qū)寬波段)

　　1.5觀察位置：電腦控制調(diào)節(jié),垂直范圍:線圈上方3-20mm,0.1mm間距可調(diào)

2、進(jìn)樣系統(tǒng)

　　2．1霧化器：標(biāo)配玻璃同心霧化器

　　2．2霧化室：標(biāo)配玻璃旋流霧化室

　　2．3炬管：標(biāo)配低流量,低功率,一體化石英炬管;可選有機(jī)物分析用的可拆式炬管

　　*2．4氬氣流量：

　　    霧化氣采用0.01mL/min精度的質(zhì)量流量控制,所有的氣流都由電腦控制.

　　    等離子體氣流:10L/min(典型值)

　　    輔助氣流:0.5L/min(典型值)

　　霧化氣流:0.5L/min(典型值)

　　*2．5氬氣加濕器：氬氣加濕器保證>30%的鹽溶液無結(jié)鹽地連續(xù)測試2小時,精度達(dá)到%RSD<5%

　　*2．6蠕動泵：電腦控制的雙通道12輪蠕動泵,泵速0-60rpm

3、射頻發(fā)射器

　　3．1類型：自激式空冷射頻發(fā)生器,通過開關(guān)或鍵盤控制自動啟動.可用內(nèi)置水冷,因此不需要外部水冷

　　3．2工作頻率：40MHz

　　3．3功率：電腦控制,600-1500W,10W步進(jìn)

　　3．4安全連鎖：安全連鎖裝置:等離子體室門,氣體壓力,低水壓,低/高電壓,等離子體失誤

　　  3．5執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：符合以下EMC標(biāo)準(zhǔn):EN55011,IEC801-2,IEC801-3andIEC801-4.

4、完備的附件

　　4．1等離子體實(shí)時觀察系統(tǒng)：選配等離子體相機(jī)使客戶能夠在電腦上觀察等離子體以實(shí)現(xiàn)快速方法開發(fā)

　　4．2等離子體完整性保護(hù)裝置：選配等離子體完整性保護(hù)裝置(PIP),在檢測到寄生等離子體時自動關(guān)閉等離子體,以保護(hù)炬管防止融化

　　4．3氮?dú)獯祾吒郊簡紊髟试S采用高純氮?dú)獯祾邔?shí)現(xiàn)180nm以下的分析.包括一個氧氣過濾器,用于去除純度較低的氮?dú)庵械难?還包括一個氮?dú)獗砗蜌饬骺刂破?/p>

　　4．4零配件及消耗品包：選配包含炬管，氧過濾器，霧化室，霧化器，各種連接管等在內(nèi)的足夠客戶使用2年的零備件及消耗品包

　　4．5氬氣加濕器（選配）

　　4．6耐HF酸、耐高鹽進(jìn)樣系統(tǒng)