用于在玻璃基板上形成高精度光學(xué)多層膜的電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)；通過組合滿足客戶需求的各種組分，可以形成質(zhì)量更好的薄膜。底板傘骨采用旋轉(zhuǎn)方式(公轉(zhuǎn))減少振動(dòng)和顆粒，使底板穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。

采用本公司獨(dú)特的比例控制方法和多點(diǎn)在線監(jiān)測技術(shù)，不用坩堝上的切片作為蒸發(fā)源，就可以穩(wěn)定地形成多層膜，形成高精度、穩(wěn)定的光學(xué)多層膜，還可以利用可操作性電梯去除底框。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)采用高離子流密度的均勻分布離子源，配有雙電子槍，可在多點(diǎn)環(huán)形坩堝中鍍膜100層以上，采用自動(dòng)蒸發(fā)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸發(fā)過程。工件夾具可以是鐘罩式或行星式。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)薄膜作為測試技術(shù)標(biāo)準(zhǔn):

1. 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)初始接觸角為115 ° ± 5 °

2.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)鋼絲絨耐摩擦性測試標(biāo)準(zhǔn):使用0000 #鋼絲絨，面積10*10mm，行程40次\\u002Fmin，載荷1Kg，往復(fù)摩擦5000次后接觸角大于100°；

3.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)皮膚摩擦試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn): 直徑6mm 皮膚摩擦，行程25次/分鐘，載荷1Kg，往復(fù)摩擦2500次后接觸角大于100 ° ;

備注:樣品的玻璃應(yīng)為觸摸屏蓋的拋光玻璃，表面光滑?！?/p>

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn):　　

1.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)提高了沉積速率以獲得更高的成品率；

2.電子束進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜機(jī)在半導(dǎo)體、光電子和光子學(xué)領(lǐng)域可以實(shí)現(xiàn)需要高精度加工工藝；

3. 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)經(jīng)久耐用，易于維護(hù)。