FH1301D三軸數字加速度計、MEMS三軸數字型加速度傳感器 MEMS數字型三軸加速度計-MEMS傳感器
簡介
FH1301D三軸數字加速度計是有我公司自行研制,用于測量加速度的傳感器。它采用高精度、低噪聲MEMS芯片, 具有BIMOS信號限制電路。設計考慮多用戶的需求,制造采用表貼工藝 技術。具有高可靠性和高封裝堅固性特點,自檢測(Self-Test)功能。
本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統、地震監控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統中。


二、 原理
FH1301D三軸數字加速度計是建造在硅晶片頂部的表面MEMS 多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構,并提供一個克服加速度 感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的中央 板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結構的偏轉,從而產生電壓輸出信號。
三、 性能指標
FH1301D 技術參數 | |
X、Y、Z軸(g)測量范圍 | ±2 (±4 ±8 ±10 ±20 ±40)可選 |
頻響(Hz) | 0-250 |
零偏(mg) | <2 |
零偏穩定性(mg) | <2 |
零偏重復性(mg) | <2 |
非線性度(% F.S) | <0. 1 |
輸岀接口 | RS422 |
數據更新率(可設) | 500hz@460800 (zui高 1000hz) |
供電要求 | |
供電電壓(VDC) | 9-12 |
輸入電流(mA) | <20 |
工作環境 | |
使用溫度(°C) | -40 to +80 |
耐加速度0.1ms | 5000g |
重量、體積
| |
重量(g) | <50 |
尺寸(mm) | 26*26*13.2 |
四、通訊協議 MEMS數字型三軸加速度計-MEMS傳感器
接口形式:RS422
數據格式:1個起始位,8個數據位,無校驗,1個停止位,高在前,低在后。
MEMS數字型三軸加速度計-MEMS傳感器





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