品名  掃描探針顯微鏡
型號  L-traceⅡ  
概要  可以全自動多點測定，可以對應至6英寸(8英寸)的大型樣品。另外，通過采用精密掃描器和低相干光源，能夠更正確且高地測量出超微需求的形貌。 
特長 
1. 大型樣品的形貌測定
新一代大型Stage單位L-traceⅡ能夠對應各種各樣的大型樣品的通用型SPM。能夠搭載6英寸(8英寸)φ的試料，因為能夠自動多點同時連續(xù)測定，是能夠適應品質管理的系統(tǒng)。任何人都能夠容易地進行超微測量儀表刻度的測定。 標準裝備大型樣品stage?？梢匀嬗^察至6英寸(150mm)φ的試料。(8英寸(200mm)φStage是零配件) 
2. 減少通過新Accurate掃描器進行Z動作時的X、Y方向的串線失真
新一代大型機L-traceⅡ不僅是關注大多數的SPM的信噪比與偏差問題，更著眼于起因于掃描器的X-Y串線失真的測量誤差。使用公認的、更的蠕變與磁滯現象較少的「閉環(huán)固定偏差掃描器」，以及通過搭載X-Y串線失真很少的「Accurate掃描器」，大大提升了測定形貌的可信度。大多數的SPM所有的形貌測定輸出的不對稱性和X-Y形狀歪曲的問題得到了解決。
3. 控制了因為低相干光學系引起的干渉條紋噪音
通過采用「低相干(光干渉很少)光源」，去除了高輸出時的模式Hop噪音和反光的噪音發(fā)生，使S/N比提高了1.5倍。使超微需求的更高分辨率觀察成為可能。
4. 通過對話式觸摸屏的簡易操作
把觸摸屏裝備在儀器的前部。能夠容易地進行Stage的移動和光學顯微鏡的倍率變化。另外，還可以看到關于操作和保養(yǎng)的方法的提示，能夠進行高效率的作業(yè)。
5. 通過測定導航功能的懸臂自動交換
就算是初次使用的人員，每次測定都不必看操作手冊。導航功能將把從懸臂安裝～調試～測定參數決定～圖像處理與分析～直到輸出的一系列的操作，用Wizard形式作出引導。懸臂會預先并排于Stage上的專用臺，只要向光學顯微鏡的中心移動懸臂前端，就能夠進行定位和組裝。

主要產品規(guī)格
分辨率 水平：0.5nm 垂直：0.05nm
樣品尺寸 150mmφ、厚度22ｍｍ對應200mmφ、厚度12mm對應 (可以選擇樣品Stage)
樣品驅動范圍  X-Y Stage 150mm x 110mm
掃描范圍  標準： 90µm□／6µmH對應(Accurate掃描儀搭載)定位顯微鏡 內裝變焦顯微鏡(X285～1100倍)搭載
測定功能
• AFM(接觸模式)
• DFM(輕敲模式)
• PM(相位)
• FFM(摩擦)
• MFM(磁力) • SIS模式
• LM-FFM(橫振動摩擦)
• VE-AFM/DFM(粘彈性)
• Adhesion(吸附力)
• CURRENT(電流)
• SSRM(控展抵抗)
• PRM(壓電響應)、KFM(表面電位)
 
零配件 軟性X線式靜電除去系統(tǒng)(附有X線泄露防止罩)
檢出系 低相干型光學杠桿方式,4分割變位檢出系