品名:掃描探針顯微鏡
型號:NanoNaviⅡ 
概要:包含探針檢定在內(nèi)的微小區(qū)域表面粗糙度評價(jià)方法已被JIS規(guī)格化，具有高且客觀性的粗糙度評價(jià)功能。另外操作順序通過工藝流程圖形式做引導(dǎo)，任何人都能夠很容易地進(jìn)行高分辨率的表面測量。 
特長 
1.用戶至上為目標(biāo) 
•簡易的菜單
對用戶而言能否穩(wěn)定使用的瓶頸就是SPM的操作性。NanoNaviⅡ型控制器是以人類工程學(xué)為基礎(chǔ)，搭配了方便、快捷、直觀的測量引導(dǎo)功能(簡易的菜單)，將SPM變成更為實(shí)用的儀器。
2.細(xì)致周到的支持功能
•ACTIVE Q
通過Q值控制功能(ACTIVE Q)的靈敏度調(diào)整，即使在真空或液相環(huán)境下，也能實(shí)現(xiàn)高靈敏度且高分辨率的測量。真空中的硬盤MFM像(左：沒有ACTIVE Q)(右：有ACTIVE Q)  
•自動獲取功能  樣品表面形貌可以從凹凸較大到原子順序用21bit的分辨率獲取，能夠完全發(fā)揮A/D轉(zhuǎn)換器的能力。 
•高速的長方形掃描
根據(jù)測定用途可以變更掃描幅度比率，能夠縮短90%的測定時(shí)間。 實(shí)現(xiàn)了大幅度的處理能力的提高。 
3. 以數(shù)據(jù)可信度的提高為目標(biāo)
•探針評價(jià)功能
搭載了評價(jià)測定前后時(shí)探針狀態(tài)的功能。能夠確認(rèn)探針的磨耗和破損程度，能夠在SPM方面數(shù)據(jù)可信度的提高方面起到作用。 (上：新探針)(下：磨耗的探針)
•對應(yīng)粗糙度的JIS規(guī)格
在行業(yè)界首次對應(yīng)表面粗糙度JIS規(guī)格(ＪＩＳ R 1683:2007)。 減低數(shù)據(jù)的偏差，能夠期待更高且客觀的粗糙度測定。
•閉環(huán)回路控制(零配件功能)
排除了具有壓電元件的磁滯和蠕變等的非線形性的影響，實(shí)現(xiàn)了高度的直線性和直行性。在微細(xì)領(lǐng)域的測量與加工方面，其得到了飛躍性的提高。
4. 為了能夠得到更充實(shí)的解析
•豐富的繪圖
準(zhǔn)備了根據(jù)其用途能夠選擇的豐富的繪圖。明確地傳達(dá)測定數(shù)據(jù)的圖像 (圖是頭發(fā)的表皮的3D繪圖)。
•各種形貌的分析功能
 
標(biāo)準(zhǔn)搭載:零配件搭載
X?Y掃描電壓:Z掃描電壓 X Y: ±200V/18bit        Z:±200V/21bit 
同時(shí)測定:8192×1024×4畫面,8192×8192×4畫面
掃描順序:±180
長方形掃描: 1:1、2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1024:1 2048:1、4096:1、8192:1
功能 • 自動獲取控制
• Z 掃描限幅器對應(yīng) • 閉式回路控制
• ACTIVE Q控制對應(yīng)
• SIS模式對應(yīng)
 
軟件 • 圖像疊加功能(形貌/物性圖像)
• 2信號第四曲線測定
• 自動測定調(diào)試功能
• 數(shù)據(jù)分析批量處理功能
• 3次元表示功能
• 表面粗糙度解析(Rms、Ra, Rms, 高低差、表面積等)
• 斷面分析、平均斷面分析
• 多功能同時(shí)斷面分析(2～4個(gè)畫面對應(yīng))
• 表面粗糙度JIS規(guī)格(JIS R 1683：2007)
• 探針評價(jià)功能
• 行編輯功能
• 自動斷面?zhèn)让鎴D功能(紋路寬度、pitch、角度分析)
• 形態(tài)學(xué)過濾器功能
• 粒子分析功能(粒子直徑、粒子面積、粒子數(shù)量等)
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