- 品牌/商標(biāo)：美國(guó)SMI
- 企業(yè)類型：貿(mào)易商
- 原產(chǎn)地：美國(guó)
SM5420是一個(gè)小外型SO-8封裝的不帶溫度補(bǔ)償壓力傳感器，該傳感器使用SMI公司經(jīng)過(guò)優(yōu)化的硅微結(jié)構(gòu)的SM5108晶圓，并能為如此小的壓力傳感器提供比較高的度。這種優(yōu)越性能通過(guò)細(xì)微電阻安裝和微機(jī)械配置以及先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)而得。
這種傳感器是為大批量使用而價(jià)格又成為關(guān)鍵因素的客戶而設(shè)計(jì)，如胎壓計(jì)或者是輪胎氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。SM5420為絕壓類型的壓力傳感器，滿量程范圍為15psi、30psi和100psi,SM5420是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷電路板的制造商而設(shè)計(jì)。
SM5420可以選用帶端口的配置或者帶孔配置，讓進(jìn)氣通過(guò)端口上方或者壓力源的正向定位用于感應(yīng)一般環(huán)境壓力或者與O形的密封圈一起使用。該端口方向已選定以小化因惡劣環(huán)境中附加的長(zhǎng)期依賴而造成的壓力脈沖直接沖擊壓力晶圓正面的幾率。該器件對(duì)帶有凝膠的作為標(biāo)準(zhǔn)，大量訂購(gòu)該器件并需要化穩(wěn)定性的可以不帶凝膠，比如在氣壓站、氣象站的傳感應(yīng)用。
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特點(diǎn) 15psi、30psi和100psi 寬工作溫度范圍（-40至+ 適用于自動(dòng)化流水線裝配 超低價(jià)格 小外型封裝（ 恒定電流或者恒定電壓供電 較大的mV電壓輸出 沒(méi)有溫度補(bǔ)償及零點(diǎn)校準(zhǔn) |
應(yīng)用 汽車輪胎壓力監(jiān)測(cè) 引擎控制 氣壓傳感 海拔高度校正儀 氣動(dòng)儀表 手持式儀表 家電 |
性能參數(shù)
所有參數(shù)在室溫
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小值 |
典型值 |
值 |
單位 |
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激勵(lì)電壓源 DC |
0 |
5.0 |
10 |
V |
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激勵(lì)電流源 DC |
0 |
1.0 |
1.6 |
mA |
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滿量程輸出 PSI （kPa） |
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15（103） |
95 |
127 |
160 |
mv |
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30（207） |
65 |
100 |
135 |
mv |
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100（689） |
65 |
100 |
135 |
mv |
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零點(diǎn)輸出 |
-35 |
0 |
35 |
mV |
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滿量程溫度系數(shù) |
-0.24 |
-0.19 |
-0.155 |
%FS/℃ |
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零點(diǎn)溫度系數(shù) |
-0.07 |
-0.01 |
+0.07 |
%FS/℃ |
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電阻溫度系數(shù) |
+0.24 |
+0.275 |
+0.33 |
%RB/℃ |
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壓力線性度（非線性誤差） |
-0.20 |
-0.07 |
+0.20 |
%FS |
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橋臂阻抗（橋臂電阻） |
4 |
5 |
6 |
kΩ |
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輸入電容 |
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<2 |
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pF |
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耐壓 |
3ⅹ |
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Rated FS |
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爆破壓力 |
5ⅹ |
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Rated FS |
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工作溫度 |
-40 |
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+125 |
℃ |
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存儲(chǔ)溫度 |
-40 |
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+150 |
℃ |
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注意：
1、電橋可以被正電壓或者負(fù)電壓激勵(lì)；正輸出適用在正電壓激勵(lì)正壓力加載在晶圓上
2、在5V恒定電壓激勵(lì)下測(cè)量
3、測(cè)量從0到
4、直線擬合
