CCD堅膜專用無塵烘箱，CCD光刻堅膜專用百級無塵烘箱

在CCD（電荷耦合器件）制造過程中，顆粒沾污對CCD的薄膜質量、光刻圖形完整性等有很大的影響，降低CCD的成品率。CCD制造過程中的顆粒來源主要有兩個方面：一個制造過程中工藝環境產生的顆粒；另一個是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過程中產生的顆粒。工藝環境的顆粒可來源于墻體、設施、設備、材料和人員，工藝過程的顆粒來源于易產生粉塵的工藝，比如說LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。

本公司生產的COL-系列無塵烘箱，即使在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100，為CCD（電荷耦合器件）制造過程中烘烤提供潔凈環境，預防顆粒沾污

無塵烘箱特點：

1：全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

2 ：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；

3：采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門

(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)

技術參數：

1. 百級無塵烤箱型號:COL-2

2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 溫度范圍：RT＋60℃～300℃

4. 無塵烤箱潔凈度：100級；

5. 溫度均勻性: ±1.5%

6. 波 動 度：±0.5℃

7. 電    源：380V 50Hz  7.5KW；

8. 箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細玻璃棉； 

9. 空氣循環裝置：大容量軸流電機；

10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；

11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；

12. 控制儀表：進口數顯溫度控制器，PID調節，控制0.1℃；

13. 超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統，保證試驗品的安全；

14. 控制系統：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件；

15. 排 氣 口：ф50；

16. 隔    板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG。

CCD堅膜專用無塵烘箱，CCD光刻堅膜專用百級無塵烘箱