- 品牌/商標：上海旦順
- 企業類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產地：上海
硅晶圓片涂膠前的預處理專用100級潔凈烘烤箱 |
本公司COL－系列無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制。
技術參數：
1. 百級無塵烤箱型號:COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍：RT＋
4. 無塵烤箱潔凈度：100級；
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動 度：±
7. 電 源：380V 50Hz 7.5KW；
8. 箱體材料：外箱采用SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細玻璃棉；
9. 空氣循環裝置：大容量軸流電機；
10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；
11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；
12. 控制儀表：進口數顯溫度控制器，PID調節，控制
13. 超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統，保證試驗品的安全；
14. 控制系統：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件；
15. 排 氣 口：ф50；
16. 隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約
