- 品牌/商標(biāo)：上海旦順
- 企業(yè)類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：上海
硅晶圓片涂膠前的預(yù)處理專用100級(jí)潔凈烘烤箱 |
本公司COL－系列無(wú)塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制。
技術(shù)參數(shù)：
1. 百級(jí)無(wú)塵烤箱型號(hào):COL-2
2. 無(wú)塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍：RT＋
4. 無(wú)塵烤箱潔凈度：100級(jí)；
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動(dòng) 度：±
7. 電 源：380V 50Hz 7.5KW；
8. 箱體材料：外箱采用SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料：采用SUS304＃無(wú)磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細(xì)玻璃棉；
9. 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機(jī)；
10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；
11. 溫度測(cè)量傳感器：Pt100 鉑電阻；
12. 控制儀表：進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制
13. 超溫保護(hù)儀表：獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗(yàn)品的安全；
14. 控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?span lang="EN-US">
15. 排 氣 口：ф50；
16. 隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約
