KOSAKA LAB ET 150

微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)（探針接觸式臺(tái)階儀）

株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立的公司，也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn)：

KOSAKA ET 150基于Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高表面形貌分析應(yīng)用。ET 150能可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

ET 150配備了各種型號(hào)探針，提供了通過(guò)過(guò)程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。

規(guī)格

一、測(cè)定工件：

1.工件尺寸：φ160mm

2.工件厚?：48mm

3.工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測(cè)定范圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3.測(cè)定?：min.1mgf,max.50mg

4.觸針半徑：2 μm

5.驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式

6.再現(xiàn)性：1σ= 1nm

三、X軸(基準(zhǔn)軸)：

1.移動(dòng)量(測(cè)長(zhǎng))：100mm

2.移動(dòng)的真直?：0.2μm/100mm

3.移動(dòng),測(cè)定速?：0.005~20mm/s

4.線性尺(linar scale)：分解能0.1μm

四、Z軸：

1.移動(dòng)量：50mm

2.移動(dòng)速度：max.2mm/S

3.檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

4.位置決定分解能：0.1μm

五、工件臺(tái)：

1.工件臺(tái)尺寸：φ160mm

2.機(jī)械手動(dòng)傾斜：± 2℃(±５mm/160mm

?、工件觀察：max.110倍(可選購(gòu)其它高倍?CCD)

七、床臺(tái)：材質(zhì)為花崗巖石

八、防振臺(tái)(選購(gòu))：?地型或桌上型

九、電源：AC100V±10%,

50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量：

W494×D440×H630mm, 120kg