KOSAKA LAB EF 650D（輪廓形狀測定機）

特點：

*具有數字式圓弧補正機能，以減少圓弧運動之誤差。

* 45°傾斜機構：可根據工件形狀，于45°內任意自由變化。

*新開發測定力調整：依據轉盤式、測定力調整機構，可于Stylus種類及姿勢不變情況下，簡單地設置測定力。

*高Real time測定。

*測定方向選擇：測定方向可上/下、右/左、自動切換，可避免測試物擺設之困擾。

* Stylus升降機構（電動）。

*多功能之形狀解析裝置。

主要技術參數：

1.測定：Z：( 1 +｜0.04h um )   X：( 1 + 0.02L ) um L=測定長度mm

2.測定范圍：縱（Z）58 mm、橫（X）100mm

3.X、Z軸Scale分解能：Z:0.1um、X：0.1μm

            點數：125,000點，間隔0.5um以上

4.測定倍率（X . Z）：0.01~10000倍

5.驅動速度：0.02、0.05、0.1、0.5、1、2 mm / s（回程速度：驅動速度0.02 ~ 10 mm / s）　

6.真直度：1μm / 100 mm

7.圓孤補正方式：數字式圓孤補正

8.檢出器PU-FJ25

         8-1. Stylus：R25μm超硬SB-610

         8-2.測定力：10 ~ 30 mN,可變

         8-3.追隨角度：爬升77°、下滑87°

         8-4.補助機能：跳動機能、過負荷停止、Stylus電動上下、測定范圍限制

9.測定方向：上、下兩方向（PU-FJ25），或推/拉兩方向。

10.驅動裝置傾斜角度：±45°

11.檢出器上、下動范圍：200 mm自動停止含電動上下

12.形狀解析機能：標準配件

13.電源：AC 100V 50 / 60 HZ   550 VA

14.設置尺寸：640*685*315mm測定裝置部約70kg，解析部約10kg