主要技術(shù)指標(biāo)：
? 系統(tǒng)限真空度：進(jìn)入3×10-4Pa
? 工作真空度：5×10-a
? 抽真空時(shí)間：冷態(tài)下30分種5×10-
? 設(shè)計(jì)溫度：600℃
? 工作溫度：常溫到500℃可調(diào)。
? 溫度均勻性：±5℃
? 控溫儀：±0.5℃
? 加熱及控制方式：采用鎧裝電阻絲加熱器，并由PID控制。
? 系統(tǒng)啟動(dòng)2小時(shí)內(nèi)均溫狀態(tài)。
? 系統(tǒng)限真空度：進(jìn)入3×10-4Pa
? 工作真空度：5×10-a
? 抽真空時(shí)間：冷態(tài)下30分種5×10-
? 設(shè)計(jì)溫度：600℃
? 工作溫度：常溫到500℃可調(diào)。
? 溫度均勻性：±5℃
? 控溫儀：±0.5℃
? 加熱及控制方式：采用鎧裝電阻絲加熱器，并由PID控制。
? 系統(tǒng)啟動(dòng)2小時(shí)內(nèi)均溫狀態(tài)。
