μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間內(nèi)(約幾秒)量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量，也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更量測(cè)物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。

NanoFocus μsurf solar太陽(yáng)能電池3D顯微鏡，可以對(duì)太陽(yáng)能電池片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)量，廣泛適用于單晶、多晶和薄膜太陽(yáng)能電池片，一分鐘內(nèi)可以自動(dòng)測(cè)量12個(gè)區(qū)域，是質(zhì)量檢驗(yàn)和生產(chǎn)控制中的的光學(xué)三維表面測(cè)量和分析工具。可以進(jìn)行太陽(yáng)能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測(cè)量，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小、數(shù)量、角度、比表面積，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析，以及減反射層腐蝕表面的測(cè)量，薄膜小孔的檢測(cè)和自動(dòng)分析。

作為太陽(yáng)能行業(yè)要設(shè)備，μsurf solar太陽(yáng)能電池3D顯微鏡從硬件到軟件均是針對(duì)太陽(yáng)能行業(yè)定制開(kāi)發(fā)出來(lái)的，其測(cè)量樣品的平臺(tái)帶有真空吸盤，可以承受210mmX210mm的樣品，能太陽(yáng)能電池片移動(dòng)時(shí)不破壞。適用μsurf solar有利于控制生產(chǎn)工藝,效率,是質(zhì)量的。

n 技術(shù)參數(shù)

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測(cè)量時(shí)間：2~10秒

測(cè)量原理：非接觸、共聚焦

X/Y方向：平臺(tái)移動(dòng)范圍200mmX200mm，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向測(cè)量范圍：500μm，Z方向分辨率：1nm

物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)

離軸攝像頭(10X)，視野8 x 6 mm2(選配)

計(jì)算機(jī)：計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，大且附帶解決方案的自動(dòng)化軟件

工作電源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA

材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石

潔凈室等級(jí): Capability cl 6 (according to DIN EN ISO 14644)