產品介紹
μsurf系列產品采用多孔共聚焦技術，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更量測物體高度，建立3D立體影像，優勢相當明顯。
德國NanoFocus μsurf cylinder機臺是世界上的一款專為測量桶狀內壁設計的非接觸式三維表面測量儀，并擁有光學分辨率和廣泛的三維表面形貌分析能力，被世界的汽車廠商所應用。
應用
μsurf系列用來測量汽車引擎缸體內部(發動機氣缸內壁)表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析(磨損分析、缺陷分析)，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。有利于成形性，外觀以及涂漆性能，降低磨損，效率
產品特性：
（1）耐用
（2）測量
（3）光學分辨率高
（4）速度快，數秒內完成測量
（5）真實的3D數據
產品功能：
（1）紋理分析（角度分析）
（2）粗糙度計算合DIN EN ISO標準
（3）計算三維表面粗糙度參數
（4）磨損分析，缺陷檢測和體積參數
技術參數
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時間：5~10秒
測量原理：非接觸、共聚焦
物鏡倍數 | 10X | 20X | 50X |
單次測量面積（um） | 1100*1100 | 550*550 | 220*220 |
NA值 | 0.3 | 0.45/0.6 | 0.8 |
工作距離（mm） | 10.1 | 3.1/0.9 | 1 |
Z軸（nm） | 20 | <10 | <2 |
XY軸（um） | 1.9 | 0.95 | 0.38 |
計算機：計算機控制系統，功能的軟件，有拼接功能，
工作電源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
外型尺寸：高490mm，轉接環直徑280mm
集成箱尺寸（包含主機，系統控制器，電子模塊等）：540*710*795mm
重量：11KG
潔凈室等級: Capability cl 6 (according to DIN EN ISO 14644)
usurf cylinder是一款為汽車行業度身定做的機臺設備，該產品還可以根據客戶需求進行自動編程，實現全自動化的拼接測量，并且自動生成測試和相關數據。目前大眾、奔馳、寶馬等汽車行業頭該設備，由于高，操作簡便，又是基于發動機引擎定制的機臺，可操作性很強，鋼桶內壁的測量是一個技術難關，現在usurf cylinder的研發頓時解決了這個技術難題，使得發動機技術部門的工程師要進行幾步簡單的操作即可完成測量。
