特征：
　　* 尺寸小型化
　　* 輕量化
　　* 方案
　　* 電學(xué)、光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用
　　* 發(fā)光二管、激光二管、PD的光強(qiáng)度和波長測量
　　* 射頻探測
　　* 適用于大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室
　　* 4英寸以下晶圓的理想選擇
　　* 側(cè)面調(diào)節(jié)吸盤
　　* 無回差調(diào)節(jié)
　　規(guī)格：
　　* 真空吸盤材質(zhì)：4英寸不銹鋼（平整度±10* m）
　　* 吸盤調(diào)節(jié)行程：3英寸X 3英寸（10* m）
　　* 吸盤調(diào)節(jié)角度：0～30度
　　* 吸盤：三條真空線槽對應(yīng)不同尺寸樣品
　　* 樣品尺寸：5mm X 5mm 至 4英寸
　　* 臺板：可容納多6個(gè)探針座
　　需求：
　　* 電力需求：220V 50Hz交流電
　　* 真空泵：真空壓強(qiáng)-250毫米汞柱（約-33.3KPa）
　　尺寸：
　　* 320mm寬X 320mm長X 400mm高（包括顯微鏡）
　　* 凈重 20Kg，包括顯微鏡
　　
　　附件
　　* 吸盤推向位置（chuck stage push to position）
　　* 真空控制的吸盤調(diào)節(jié)系統(tǒng)
　　* 顯微鏡傾斜機(jī)構(gòu)以及準(zhǔn)確位置快速轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)
　　* 光強(qiáng)度／波長測量適配器
　　* 射頻探針／電纜
　　* 有源探針
　　* 低電流／低電容探針
　　* 高壓探針
　　* 聲波切割機(jī)（cutter）
　　* 視頻監(jiān)控
　　* 顯微攝影
　　* 封裝器件夾具
　　* PCB夾具
　　* 液晶套件
　　* 振桌面
　　* 屏蔽箱
　　* 測試工作臺
　　* 帶腳輪的設(shè)備箱
　　* 吸盤真空圖樣（Pattern）
　　* 鍍金吸盤
　　
　　選件和升級需要的配件：　　
　　* 卡盤可升級為高溫卡盤，可做高溫點(diǎn)測?！　?
　　* 可以選配探針卡的夾具，將探針卡通過夾具放置在探針臺上，進(jìn)行wafer的測試。
　　圓形探針卡方形探針卡
　　* 探針臺可升級進(jìn)行射頻點(diǎn)測
　　射頻探針射頻夾具　　
　　* 低電流點(diǎn)測和低電容點(diǎn)測
　　管狀雙屏蔽（Triaxial）探針桿雙屏蔽（Triaxial）卡盤　　
　　雙屏蔽（Triaxial）線纜雙屏蔽（Triaxial）轉(zhuǎn)接頭　　
　　* 大電流點(diǎn)測
　　彈簧夾具線纜　　
　　* 探針臺平臺升降螺旋測微計(jì)
　　為探針臺平臺升降提供測量，可以記錄平臺坐標(biāo)，方便重復(fù)定位?！　?
　　* 卡盤水平移動(dòng)光學(xué)尺
　　為卡盤水平移動(dòng)提供測量，可以記錄卡盤坐標(biāo)，方便重復(fù)定位?！　?
　　* 顯微鏡Z軸方向氣動(dòng)定位
　　方便顯微鏡操作，更加精準(zhǔn)。