全自動(dòng)光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來(lái)，樣品對(duì)準(zhǔn)是為了橢偏儀測(cè)量的可重復(fù)性和性。已獲得的自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進(jìn)行地貌圖測(cè)量，包括翹曲晶片。
全自動(dòng)光譜橢偏儀-產(chǎn)品特點(diǎn)
■全自動(dòng)樣品校準(zhǔn)
■高測(cè)量速率< 8秒
■消除了全波段范圍內(nèi)的盲點(diǎn)
■可測(cè)量透明和吸收基底
■高測(cè)量
■具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
■友好的軟件界面，強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析功能
■具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
光譜橢偏儀-技術(shù)指標(biāo)
■光源：氙燈
■光斑直徑：1-3mm
■入射角范圍：20°到90°自動(dòng)控制
■波長(zhǎng)范圍：350-850nm，250-1100nm，250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■波長(zhǎng)：1nm
■ 測(cè)量時(shí)間: < 8s（取決于測(cè)量模式和粗糙度）
■ 入射角度：0.01
光譜橢偏儀-可選配
■CCD線陣列探測(cè)元件：200-850nm，350-1000nm
■樣品顯微鏡
■高穩(wěn)定性消色差補(bǔ)償器
■測(cè)量架
■XY移動(dòng)樣品臺(tái)
光譜橢偏儀-典型客戶
美國(guó)，歐洲，亞洲及國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能及半導(dǎo)體客戶。
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