多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量,能夠測量薄膜厚度及其光學常數,使用632.8nm波長氦氖激光器,具有高的度和準確度。
多角度激光橢偏儀-產品特點
■可以測量單晶電池片、多晶電池片
■可以測量拋光片,度和準確度高
■可以測量粗糙表面的“絨片”
■適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
■可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(偏振因數)進行測量和評估,測量
■配置有高穩定度補償器,提供小的漂移值和小的測量誤差
■配置有高的自動光學對準顯微鏡
■可進行20°-90°范圍內的多角度測量
多角度激光橢偏儀-測量特點
■非破環性檢測
■樣品準直簡單方便
■測量速度快
■可變入射角范圍寬
■測量
■軟件分析
多角度激光橢偏儀-技術指標
■光源:He-Ne激光器
■光斑直徑:1-2mm
■入射角范圍:20°到90°,5°/步
■:0.002°~ 0.02°
■膜厚:0.01mm,對100nmSiO2on Si
■折射率:0.0005,對100nmSiO2on Si
■激光光斑:直徑1mm
■激光波長632.8 nm
多角度激光橢偏儀-典型客戶
美國,歐洲,亞洲及國內太陽能及半導體客戶。
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