二次離子質(zhì)譜概述

u  能量的離子打到固體表面會(huì)引起表面原子、分子或原子團(tuán)的二次發(fā)射，即離子濺射。濺射的粒子一般以中性為主，其中有一部分帶有正、負(fù)電荷，這就是二次離子。利用質(zhì)量分析器接收分析二次離子就得到二次離子質(zhì)譜。根據(jù)濺射的二次離子信號(hào)，可對(duì)被轟擊樣品的表面和內(nèi)部元素及分布特征進(jìn)行分析。

u  二次離子質(zhì)譜儀主要用于材料學(xué)（半導(dǎo)體、薄層、緣材料等）、地質(zhì)空間學(xué)、天體化學(xué)、環(huán)境微生物學(xué)和細(xì)胞學(xué)。

u  主要功能：

               質(zhì)譜分析-表面微區(qū)元素組成

               痕量元素深度剖析

               二次離子成像及顯微圖像分布（2＆3D）

               穩(wěn)定同位素豐度比

               放射性顆粒分析

               地質(zhì)定年

大型二次離子質(zhì)譜 IMS 1280-HR

u  針對(duì)地質(zhì)領(lǐng)域和環(huán)境科學(xué)分析專門而設(shè)計(jì)、注重原位分析

u  具有的靈敏度

u  U-Pb地質(zhì)學(xué)定年、穩(wěn)定同位素分析、痕量元素以及放射性顆粒分析的水平分析儀器

     K/Ca dating: MR>30,000 (monocollection)

     Rb/Sr dating: MR>20,000-40,000(monocollection)

     Mg & metal isoe ratios: MR>5000(multicollection)

     Li-U區(qū)間元素快高度同位素豐度比測量

大型二次離子質(zhì)譜性能優(yōu)勢

u  靈活多用的多接受系統(tǒng)，尤其適于用于同位素分析。

u  兩種具有反應(yīng)的的離子源，在數(shù)據(jù)采集的同時(shí)可對(duì)其進(jìn)行監(jiān)控。

u  具有高度再現(xiàn)能力的樣品臺(tái)。

u  NMR高分辨磁場控制。

u  的圖像功能。

u  計(jì)算機(jī)化自動(dòng)工作，可遠(yuǎn)程監(jiān)控。

u  通過加入一個(gè)新的六靴，對(duì)耦合進(jìn)行了重新設(shè)計(jì)，減少了軸上二次畸變。

u  多接受模式下，峰形得到很大的。

u  優(yōu)化了真空以降低背底，有利于探測輕元素，氫化物。