1. 聲顯微成像儀（生產型設備）
聲顯微成像儀FastLine P300，FAS2 DF2400。
FastLine P300的緊湊設計將占地面積減到的小，其的輸送系統(tǒng)能夠在掃描一個JEDEC盤或樣品盤的同時將下要掃描的樣品放在水中的另一個托盤上等待掃描。 FastLine已經成為元器件篩選的新平臺。
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? 輸送系統(tǒng)實現產量的大化（）； ? 準確定位，更快掃描及自動分析； ? 運用Visual PolyGate技術實現建議快捷的多層深度掃描； ? 多語種操作系統(tǒng)和直觀的操作界面； ? 人體工程學設計以操作者的舒適度及工作效率； ? 占地面積的小化的適宜在車間使用。 |
FAS2自動檢測JEDEC托盤或工業(yè)標準載盤 (Auer Boat Carrier) 中的器件。該FAS2也可以處理引線框架條，IGBT功率模塊，多層陶瓷貼片電容，倒裝芯片和其他組件。
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? 機臺匹配功能； ? 與SECS-Ⅱ/GEM(SEMI E30)及SMEMA兼容； ? 非浸水的瀑布式和/或噴泉式探頭； ? 自動數據分析軟件包； ? 真空吸附功能（選項）讓小樣品在掃描中固定不動； ? 分離式干燥腔，可加4個擺動的氣刀；可加熱空氣（選項） ? 的全分析能力； ? 具有JEDEC托盤，Auer Boat載盤或者IGBT模塊多種掃描組件選擇。 |
2. 聲顯微成像儀（實驗室設備）
聲顯微成像儀D9600，GEN6。
專門為故障分析，工藝開發(fā)，材料特性批量的生產檢測而設計一款通用工具，D9600的功能是真正擬的。
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? 多門控成像和好的門控功能的PolyGate技術具有單層和多層聚焦成像的能力； ? 每個通道可達100個門； ? Windows7多語言版及64位能力； ? 好的的掃描，以掃描機構為參照點的掃描平臺和樣品夾具； ? 還有數字圖像分析，水循環(huán)，瀑布式探頭及在線溫度控制等選項。 |
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Gen6 所具有的功能的為廣泛， 能適用于失效分析，工藝改進，研發(fā)，高性好的及中等 產量篩選等。
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? 包括D9600的特色，外加上： ? Sonosimulator功能用于多層分析； ? VRM虛擬再升掃描功能； ? 探頭可選至400MHz； ? ASF表面平整度測量功能； ? DIA數字圖像分析； ? 慣性平衡裝置； ? 雙高清顯示屏； ? 可選弧形桌面和矩形桌面； ? FDI頻域成像功能。 |
3. 聲顯微成像儀（型設備）
聲顯微成像儀AW系列，J610。
AW系列產品是專門為晶圓檢測設計的全自動系統(tǒng)。適 用 于多種鍵合晶圓 (SOI,MEMS,LED, 2.5D和3D)的檢測分析具有高的靈敏度和產能。AW系列能夠檢測出兩晶片間直徑小于 5微米的空洞以及晶片間薄如200埃的脫層。。
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? Quantitative Dynamic Z量化動態(tài)Z功能-對不平等的晶圓保持聚焦 ? 與SECS-Ⅱ/GEM/SIMI300毫米標準兼容； ? 全自動檢測100mm至300mm的晶圓； ? 瀑布式探頭提供非浸泡掃描； ? 行業(yè)的圖像分析功能； ? BOLTS標準接口適用于FOUPs，SMIFPod，FO及開放式晶圓盒； ? 自供水和抽真空組件（選項） |
J610是一款半自動產線設備，能夠掃描610mm(24in)寬的印刷電路板及樣品，也可以同時掃描6個JEDEC盤。
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? 慣性平衡線性掃描儀； ? AutoScan功能快速對特定區(qū)域進行重復掃描分析； ? DIA數字圖像分析功能能設置自動接受/拒收標準； ? 溫度控制選項能好的控制水溫； ? Sonoscan專有的Q-BAM量化B-掃描功能提供虛擬橫截面圖像； ? Sonolitics操作界面利用Windows7Ulitmate實現多種語言互換和64位的能力。 |
