產(chǎn)品描述

電容薄膜規(guī)是一種膜片受到壓力后產(chǎn)生形變的引起電容變化并將其轉(zhuǎn)化為電信號的傳感器，信號的強弱由受到的壓力大小決定。

KY系列是基于電容式測量單元開發(fā)的一款數(shù)字智能絕dui壓力變送器。測量單元由純度大于99.9%的陶瓷膜片構(gòu)成，具有不區(qū)分氣體種類，高精度、無遲滯等優(yōu)點。該系列產(chǎn)品全程采用先進的數(shù)字處理技術(shù)，大大提高了傳感器測量精度，和智能化程度，可以直接以數(shù)字信號輸出壓力值、溫度值，適應(yīng)過程控制的數(shù)字化趨勢。

數(shù)字電路還可以提供傳感器噪聲抑制功能并提高了EMC兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補償精度。同時考慮到客戶傳統(tǒng)電容薄膜規(guī)的使用習慣，本產(chǎn)品保留了傳統(tǒng)模擬信號輸出功能，可以無縫替換所有傳統(tǒng)型號電容薄膜規(guī)。

產(chǎn)品應(yīng)用

■ 高要求的應(yīng)用條件下，精準而快速的壓強測量
■ 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導體制造設(shè)備
■ 半導體，光學，航空航天和化學制造
■ 冷凍，干燥制造設(shè)備

產(chǎn)品特點

測量全程數(shù)字化，量程在范圍內(nèi)任意遷移
■ 數(shù)字通訊，避免二次儀表誤差，簡化控制設(shè)備
■ 強大的抗過載能力
■ 快速的響應(yīng)時間
■ 超過對外發(fā)布指標規(guī)格
■ 高精度，高穩(wěn)定性
■ 超寬補償溫度范圍:-20~+80℃
■ 模擬信號任意遷移
■ 量程范圍:10%-100%
■ 替代傳統(tǒng)模擬信號電容薄膜規(guī)
■ 快速開機預(yù)熱時間5s
■ 壓力誤差:2.0%。，電壓誤差:1%。