- 產品品牌：
- 美國NANOVEA
- 產品型號：
- MIT
美國NANOVEA微米壓痕測試儀 隨著納米技術的進步和薄膜工藝的發展（太陽能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等），納米力學測試已成為標準方法。這種方法改進了傳統硬度測試的不足，通過極尖的壓劃頭，高的空間分辨率和的原位載荷-位移數據，可以測量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學測試。 美國NANOVEA公司是一家公認的壓痕測試儀的領航者，生產的壓痕測試儀是目前國際上用在科學研究和工業領域先進的設備，主要應用在：半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業； 特點：主要用于微米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過壓入載荷大小與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。 ·完全符合ISO14577、ASTME2546 ·光學顯微鏡自動觀察 ·獨特的熱漂移控制技術 ·可測量硬度、楊氏模量、壓入深度-載荷的曲線圖、彈塑性、蠕變性能等力學參數 ·適時測量載荷大小 ·采用獨立的載荷加載系統與高分辨率的電容深度傳感器 ·快速的壓電陶瓷驅動的載荷反饋系統 ·雙標準校正：熔融石英與藍寶石 技術參數
| 載荷范圍 | 0.05 – 40 N |
| 載荷分辨率(噪聲條件) | 0.75mN(可選0.5mN) |
| 摩擦力 | 40N |
| 摩擦力分辨率（噪聲條件） | 0.75mN(可選0.5mN) |
| 穿透深度（非接觸傳感器） | 300μm |
| 理論深度分辨率（非接觸傳感器） | 0.2nm |
| 噪聲條件下深度分辨率（非接觸傳感器） | 3nm |
| Z軸穿透深度（標準/緊湊） | 50/25mm |
| Z軸穿透深度分辨率 | 2.5nm |
