該設(shè)備可用于將紫外線輻照在晶圓背面的切割膠帶上，以降低粘合強(qiáng)度。
我們具有一系列全自動(dòng)型和半自動(dòng)型粘貼器，可用于尺寸較大的晶圓。
UA3000II全自動(dòng)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）
采用無(wú)臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能，可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE mark/SEMI S2/S8"規(guī)范要求
可用框架/晶圓尺寸：300 mm／200 mm
可用晶圓尺寸：300 mm／200 mm
吞吐量：60晶圓/小時(shí)
UA8400全自動(dòng)UV照射機(jī)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）
采用無(wú)臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能，可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE 標(biāo)志/SEMI S2/S8規(guī)范要求
可用框架尺寸：8/6英寸
可用晶圓尺寸：8/6/5/4英寸
吞吐量：TAIKO 晶圓：100晶圓/小時(shí)
UM810/UM110半自動(dòng)機(jī)型
照射強(qiáng)度感應(yīng)器（可選）
可定時(shí)設(shè)定照射時(shí)間
晶圓貼裝架的放置、取出要用手工操作
配有紫外線輻照計(jì)時(shí)器（設(shè)定范圍：0-999 sec.）
具有 N2凈化功能
紫外線照度計(jì)（可選）
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）（可選）
可用框架尺寸：UM810：8/6英寸 UM110：6英寸
可用晶圓尺寸：UM810：8/6/5/4英寸 UM110：6/5/4英寸
該設(shè)備可用于將紫外線輻照在晶圓背面的切割膠帶上，以降低粘合強(qiáng)度。
我們具有一系列全自動(dòng)型和半自動(dòng)型粘貼器，可用于尺寸較大的晶圓。
UA3000II全自動(dòng)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）
采用無(wú)臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能，可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE mark/SEMI S2/S8"規(guī)范要求
可用框架/晶圓尺寸：300 mm／200 mm
可用晶圓尺寸：300 mm／200 mm
吞吐量：60晶圓/小時(shí)
UA8400全自動(dòng)UV照射機(jī)
可使用單切割環(huán)盒
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）
采用無(wú)臭氧型UV燈
觸摸屏設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置照度傳感器
配備自動(dòng)照射時(shí)間設(shè)定功能，可獲得穩(wěn)定的累計(jì)光量
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）
具有 N2凈化功能
紫外線輻照之后檢查標(biāo)記印記
日志文件功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
合 CE 標(biāo)志/SEMI S2/S8規(guī)范要求
可用框架尺寸：8/6英寸
可用晶圓尺寸：8/6/5/4英寸
吞吐量：TAIKO 晶圓：100晶圓/小時(shí)
UM810/UM110半自動(dòng)機(jī)型
照射強(qiáng)度感應(yīng)器（可選）
可定時(shí)設(shè)定照射時(shí)間
晶圓貼裝架的放置、取出要用手工操作
配有紫外線輻照計(jì)時(shí)器（設(shè)定范圍：0-999 sec.）
具有 N2凈化功能
紫外線照度計(jì)（可選）
輻照面積擴(kuò)大（相對(duì)于框架面積）（可選）
可用框架尺寸：UM810：8/6英寸 UM110：6英寸
可用晶圓尺寸：UM810：8/6/5/4英寸 UM110：6/5/4英寸
