型號：UPC-1000L/UPC-2000L
制造商：UPTECH
設備用途： 二氧化碳發泡機，又稱純水靜電裝置，去離子水電阻 率調節裝置，加碳機等等。 其原理是向高電阻率的純水中添加二氧化碳，在水中產 生適量的離子增強純水的導電性，降低純水的電阻率 在劃片制程、清洗等半導體加工過程中產生靜電損傷 產品，消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈，后烘干后二 氧化碳揮發任何雜質，不造成二次污染。 二氧化碳發泡機，可控制微電子工業生產制程中的靜 電微害，靜電吸附導致產品因靜電放電受到損傷， 止靜電破壞和微粒子的附著，大大產品良品率，降低 生產成本。
設備原理： 設計原理是通過膜接觸器來實現純水的潔凈CO2無污 染注入。膜接觸器的特點是氣體可以透析式穿過膜表面均 勻溶解到水里，而水和微粒雜質卻很難透過膜。用這種特 制膜將CO2氣體和純水隔開，通過設備中的精密調節 裝置可以控制CO2在水中的溶解量，從而實現控制 水的電阻率。產品水的電阻率可以很方便且地調整到0.2-18MΩ·cm范圍內。
設備特點： 設備操作簡單，使用方便，故障率低
用氣省,采用隔水氣體膜式注入CO2,不產生氣泡，另外除了隔4小時需要排1秒鐘水氣時 帶出的CO2外，基本不浪費CO2。
產品水的電阻率可以很方便且地調整到0.2-2MΩ·cm范圍內 水流量變化情況下，可將電阻率變化范圍控制在±0.1MΩ·cm內 適用行業：
此設備是用于半導體制造和FPD制造、晶圓和芯片切割工序的備設備。
