上海瞻馳光電科技有限公司
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單面拋光設備：
設備的設計理念及特征
本設備是搭載φ300mm（12英寸）定盤的高、率的拋光機。任何人通過配置在設
備后部的臺式定盤修正機都可以容易的實現定盤平面度數μm以內的修正，從而實現
高拋光加工。
主要規格：
設備型號EJ-380INWS
定盤直徑外徑φ380mm×內徑φ140mm（標準尺寸）
水冷部位密閉型冷卻水循環式（內循環分離式）
主電機0.4Kw
定盤轉速10~150rpm 付低速開始/低速停止功能
加工軸數量2軸
修正圈外徑φ178mm×內徑φ140mm（ACR-102S）
加壓方式自重加壓
《裝置》緊急停止按鈕設備正面1個φ30mm 按壓鎖定重置式
《設備概要》
尺寸705mm×750mm×680mmH*含塵蓋高度
重量100Kg（NET）
